二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400B #9169589 待售
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LAM RESEARCH Rainbow 4400B是一款设计用于后端半导体制造业务的高性能蚀刻/asher设备。它是一个单室系统，将感应耦合等离子体（ICP）蚀刻和炉基湿化学灰化能力结合在一个模块中。LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B专为生产环境而设计,具有高通量、自动化的体系结构,可提供最佳的可靠性和统一性。它被设计为高效,可在各种蚀刻和灰化应用程序中提供卓越的性能。Rainbow 4400B采用可靠可靠的配置构建,利用业界公认的组件和创新的体系结构。该装置的加工室是为高重复性和均匀性而设计的，能够支撑范围广泛的晶圆尺寸，从2英寸到8英寸及以上。腔室能够在几秒钟内在单个晶片上沉积均匀的ICP蚀刻和湿化学灰化层。此外,该腔室配置有偏置射频（RF）偏置发生器,可实现精确控制和高通量处理。RAINBOW 4400 B还配备了一系列先进的控制能力。可编程功能允许用户轻松定制和优化流程配方。自动化的过程控制允许机器在一批晶片上保持均匀性,而无需手动干预。开放式体系结构软件可实现与现有和新晶圆设计的完全兼容性。该工具还包括功能强大的用户界面和直观的图形用户界面（GUI），以便于调试、配置和过程监控。LAM RESEARCH Rainbow 4400B还具有较低的环境影响,具有广泛的功能,旨在最大限度地减少危险排放和减少废物。该资产采用先进的热控模型设计，确保工艺温度保持均匀稳定。该设备还采用闭环太赫兹脉冲蚀刻技术提高产量，能够产生均匀的蚀刻和退火结果。总体而言,LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B是一个先进的蚀刻器/asher系统,它将先进、可靠和高效的设计与低环境影响相结合。其统一的工艺室、自动化的工艺控制和CLTPE技术使其成为后端半导体制造操作的理想选择。
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