二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400B #9176765 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4400B是一款先进的蚀刻和灰化设备，旨在为半导体制造商提供增强的工艺性能、均匀性和灵活性。该系统具有高性能、多轴平台以及各种可配置的模块和组件,以确保针对物理化学加工、设备制造、电光电和MEMS应用的优化蚀刻和灰化解决方桉。LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B具有多种气体控制选项，允许实时、高精度的过程控制。其先进的智能质量流量控制器（MFC）能够实时调节和监测多达八种不同气体的压力、流量和其他参数,而不会影响电源。这样可确保最大程度的流程灵活性、可重复性和总体高性能结果。该单元由具有高级诊断和数据分析工具的触摸屏人机界面（HMI）控制。它还拥有广泛的可自定义的工艺配方，使蚀刻和灰化机可以很容易地适应各种半导体配置。可编程的复杂软件驱动程序执行计算和校正,以确保优化的蚀刻可缩短处理时间并提高产量。Rainbow 4400B提供高度精确的自动化晶片处理和传输系统、车载过程监视器以及高级故障诊断功能。其自校准工具和多重安全功能确保了最佳的过程控制、稳定性和安全性。该资产能够在一次运行中处理多达100个晶圆,并提供可选的自动清洁功能,以确保无懈可击的设备制造结果。RAINBOW 4400 B提供各种附加组件,用于根据特定的应用程序、过程或要求定制蚀刻和灰化室。它还具有高精度端点检测模型，能够以精确的精度和可重复性控制和监测蚀刻和灰化过程。先进的设备设计和构造提供了出色的蚀刻和ashing多功能性和性能，同时确保准确，一致的结果。