二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400B #9364650 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4400B是一款可靠可靠的等离子体蚀刻器，设计用于各行业的精密等离子体蚀刻和灰化工艺。它是一个单一的晶片工具,能够在高达850°C的温度下预处理和蚀刻基板,并且功能尺寸可降至10nm。LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B具有无与伦比的蚀刻性能,它配备了光束线阴极设备,具有卓越的均匀性和高通量能力,以及先进的灵活配方和直观的用户界面。彩虹4400B配备了广泛的可配置蚀刻参数，可以针对每一个工艺进行调谐，包括工作气体、气压、气速、脉冲宽度、脉冲重复频率等等。该工具还拥有独特的等离子体控制算法，以帮助保持高离子能量和一致的蚀刻速率。它还具有全自动测量系统,可以检测和调整过程波动,确保最高处理精度和可重复性。除了高工艺精度和可重复性之外,RAINBOW 4400 B还提供了旨在最大限度地提高设备正常运行时间的功能,包括快速轻松的设置、维护良好的支持机器以及方便更换的部件。它还具有内置的安全功能，包括一个敏感的光学监控工具，不断监控基板蚀刻质量和工艺稳定性。LAM RESEARCH Rainbow 4400B还通过为气体成分和安全限值调整提供具有独立报警限值的可编程废气资产来确保安全。LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B是一款可靠可靠的等离子体蚀刻器,具有优异的蚀刻性能、更高的工艺精度和可重复性,以及最大的模型正常运行时间,是各行业广泛的蚀刻和加工应用的理想选择。