二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400B #9402503 待售
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LAM RESEARCH Rainbow 4400B Etcher/Asher是为半导体工业设计的单晶片湿清洗设备。它是LAM RESEARCH Rainbow系列产品中的入门级机型,具有一流的性能和紧凑的占地面积。LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B提供了一个紧凑且经济实惠的单晶圆平台,具有广泛的工艺模块功能和易于配置的工艺参数,能够提供超低缺陷级别。彩虹4400B配备了多种技术,如高速晶片搅拌、氧蚀刻和氯蚀刻、推进氧化物蚀刻、金属各向异性蚀刻等,方便了多种材料的广泛集成工艺。该系统采用径向板组件,在晶片进出工艺模块时同时搅拌晶片,提供均匀的表面处理和缺陷控制。该系统还具有专有的基板卡盘,可确保高产量的输出和可靠的性能。RAINBOW 4400 B无与伦比的集成平台提供高吞吐量、卓越的流程一致性和可靠的运行,同时提供低拥有成本。这是晶圆制造和其他生产活动的理想平台,在这些活动中,优越的产量性能、可靠性和灵活性至关重要。LAM RESEARCH Rainbow 4400B是一种高度可靠和高效的工具,可用于挑战要求最高生产率和产量的应用程序。它具有广泛的流程功能和易于配置的流程参数,使其在一系列应用程序中用途广泛且经济实惠。适用于湿蚀刻、清洁、薄膜沉积,以及抗灰泥等工艺。此外,它的高级流程控制功能和基于软件的诊断使它能够提供易于使用的流程配方,以实现未来的灵活性和可扩展性。该系统还提供光学发射光谱等高级过程监测功能,使其能够快速识别过程相关故障,并相应调整过程参数。LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B的灵活性和可扩展性使其成为过程密集型和多应用程序应用的理想选择。
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