二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293587259 待售

LAM RESEARCH 4420是针对高长宽比结构基板加工优化的先进蚀刻/灰分工具。这种蚀刻机非常适合具有多层沉积要求的应用，如深沟蚀刻和绝缘体上的硅（SOI）。它能够蚀刻和沉积多达15层温度敏感材料，并且能够支持对高达1 µm深的沟槽进行蚀刻。LAM RESEARCH 4420采用最先进的设计,确保蚀刻/灰烬工艺的均匀性和稳定性,同时允许精确定制的工艺控制。它由一个可变压力（VP）物理气相沉积（PVD）室和一个可变电容等离子体源（VCPS）进行蚀刻而成。这种先进的蚀刻机可提供低离子污染、高均匀性和优异的选择性。腔室提供温度稳定的环境，允许独立控制蚀刻速率、选择性和均匀性。VCPS提供高蚀刻速率和惰性蚀刻停止功能,以确保可重现蚀刻/灰分。4420还配备了先进的冷却技术，并得到了LAM的氘均匀型材服务的支持。4420在所有蚀刻和沉积工具中提供了广泛的可重复、高保真的工艺能力，包括溅射、物理气相沉积（具有可变功率的PVD）、金属有机化学气相沉积（MOCVD）、离子植入、湿蚀刻、干蚀刻和干净功能。其直观的控制器和直观的用户界面方便了流程参数的自定义。LAM RESEARCH 4420蚀刻器-asher还设计用于适应困难几何中的无边界蚀刻，以及具有高均匀性和可重复性的多级蚀刻。这为膜结构、3 D几何形状、集成的导线和通孔以及互连提供了最大的设计灵活性。此外，内置的聚焦离子束（FIB）用于微调和后蚀刻过程分析。该蚀刻机是半导体生产设备改性、TFT成型和工艺优化的理想选择。最先进的控制和监测系统确保了可靠的蚀刻灰操作和产量。