二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293592003 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一个多功能蚀刻/灰烬平台,为干式和湿式蚀刻应用提供市场领先的功能。该设备设计为提供最佳工艺性能,具有可容纳4英寸晶片的铣削室,是生产工艺的理想选择。此外,该系统还配备了可编程的机械臂,用于精确的零件处理,并具有先进的运动单元,可实现快速、精确的头部定位,以实现最终的可重复性。Rainbow 4420平台由一个经过验证的基于Quartz的RIE/RIB-POST溷合控制平台提供支持,该平台为蚀刻技术和灰烬技术提供了强大而用户友好的控制。该机器配有内置的蚀刻和灰分工艺电源，最多可提供8种蚀刻和灰分预编程工艺配方。这些食谱可以进行微调，以适应不同的工艺要求，并允许易于集成和定制食谱。除了铣削功能外,LAM RESEARCH Rainbow 4420还提供了许多创新功能,例如高级晶片处理、音高补偿、激光烧蚀功能,以及允许在单个作业中执行多批晶片的瞬态模式。此外,该工具的高级软件还提供了配方参数的自动调整和实时过程监控,从而确保了一致的高质量性能。Rainbow 4420平台非常适合半导体制造和光掩模制造过程,其集成的干蚀刻技术可提高吞吐量、提高质量和降低单位成本。该平台因提供行业领先的蚀刻/灰分应用技术而得到认可，适合用于生产微电子和媒体行业的各种产品以及用于研发。