二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293595155 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是为晶圆处理应用而开发的先进蚀刻/asher设备。该系统提供了卓越的工艺能力,实现了卓越的表面光洁度和精确度的蚀刻轮廓.借助其车载计算机，Rainbow 4420能够以精确和可重复的均匀性处理高达每小时600个晶圆。LAM RESEARCH Rainbow 4420采用全钢框架设计,提供出色的抗径向振动保护,并提供一系列运动,使所有工厂参数都能精确校准和调整。这确保了精度和可重复性，即使在处理高密度晶片时也是如此。其双束激光电池设计允许同时蚀刻两个晶片，提高吞吐量效率，降低成本。彩虹4420还结合了具有4轴运动能力和高速轴承的先进运动控制，为用户提供了蚀刻轮廓的卓越精度和可重复性。它有一个高效的排气疏散装置，以确保安全运行，并消除晶圆污染的可能性。提供了一个综合维护监控机器，以自动检测任何问题并向用户发出警报，以便及时采取适当的纠正措施。LAM RESEARCH Rainbow 4420还配备了业界领先的端点控制工具，以实现一致且可重复的端点精度。这一资产允许快速确定不仅是种子晶片或蒙面晶片的合适蚀刻限值，而且是铝、铜、钛等多种金属的合适蚀刻限值。一个RAIS（共振声学成像模型）也被集成到设备中，对每个晶片模具经过处理后进行现场检查，验证过程的均匀性。Rainbow 4420先进的激光标记系统支持晶圆跟踪,并允许大幅降低成本和实验室时间,因为不需要额外的外部识别步骤。最后，该单元通过以太网连接到远程机器控制位置，为用户提供了一系列的监控能力。这些功能允许进行扩展的过程监视、特定的参数调整以及远程诊断和数据收集以进行全面的故障排除。