二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293595656 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款专为半导体加工而设计的高端等离子蚀刻器/asher。它可用于蚀刻和清洁包括硅、石英和金属在内的多种基板。彩虹4420具有两个氮气射流,一个用于蚀刻,一个用于灰化,以及可调射频和直流控制器,使技术人员能够精确控制特定应用所需的蚀刻量或灰烬量。LAM RESEARCH Rainbow 4420还配备了先进的气体注入设备，允许注入特殊的反应物气体，以提高蚀刻均匀性。Rainbow 4420具有独立的双腔室操作,允许每个腔室同时或单独处理。这进一步提高了流程的统一性和生产率。LAM RESEARCH Rainbow 4420还提供了一个大的腔室体积，在整个腔室中提供均匀的等离子体蚀刻或灰烬。此外,预热特性允许系统在加工前进行预热,以确保整个设备的加工条件一致。彩虹4420能够同时执行各向同性和各向异性过程。各向同性蚀刻的特点是从基板的顶部和底部进行定向蚀刻。这样可以改进蚀刻侧壁角度轮廓,并提供高长宽比蚀刻,而不会影响临界尺寸（CD）控制。各向异性工艺的特点是从基板的一侧进行定向蚀刻，从而产生高度倾斜的墙面轮廓以及改进的CD控制。LAM RESEARCH Rainbow 4420还具有多项高级控制和监控功能。技术人员能够实时监控和调整蚀刻或灰烬工艺。还有一个额外的数据收集功能,允许用户在一段时间内存储和查看流程参数。然后可以使用这些数据来优化过程并减少可变性。简而言之，Rainbow 4420是一种精密、精密的等离子体蚀刻器/灰化器，可用于蚀刻多种材料，包括硅、石英和金属。LAM RESEARCH Rainbow 4420配备了多项尖端功能,以确保每个流程都能平稳高效地运行。它还提供高级控制和监视功能,以确保每个批次的准确性和一致性。