二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293601578 待售
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ID: 293601578
晶圆大小: 8"
Etcher, 8"
HINE 38A Indexer and open cassette
ADVANCED ENERGY RFG 1250 RF Generator
8-Channel gas line
ESC Cathode base.
LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款高精度的蚀刻器/asher,旨在生产高品质、高精度的微结构曲面。它允许用户生成具有高长宽比和特殊长宽控制的毫米长的纳米尺度表面特征。彩虹4420是第一个将干蚀刻和原子层沉积(ALD)结合在一个腔室中的蚀刻器/灰化器,在纳米级提供高度可控的器件特征。它具有独特的、高度稳定的、多区域电容耦合等离子体(CCP)源,可以对各种材料进行精确、均匀的蚀刻和图样处理。用户可以完全控制蚀刻过程,并且可以在纳米级达到高达1:1.5的长宽比。此外,其卓越的无掩码蚀刻功能和高精度特征创建使其成为各种应用的理想选择,如通信和内存设备、微滤和片上实验室分布。其广泛的操作范围也使其适合于生命科学、光学、电子和微电子市场的多种应用。LAM RESEARCH Rainbow 4420提供了多种选项,包括实时配方传输、高通量工作流、集成分析和可靠的安全功能,是在各种基板上蚀刻和设计纳米级设备的理想工具。它旨在确保一致的流程性能,同时消除间接费用,为用户提供卓越的价值。它易于操作,复杂的用户界面使得编程和监控蚀刻过程变得简单。Rainbow 4420是满足各种客户需求的理想工具,从入门级研究到高精度制造。
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