二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293609830 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420
刻蚀机、去胶机
製造商
LAM RESEARCH
模型
Rainbow 4420
ID: 293609830
晶圆大小: 6"
Etcher, 6" (8) MFC Cassette type: Open cassette, 6"(Standard) LCD Remotte monitor Chamber: Part number / Description 718-092326-061 / ESC 716-028249-064 / Focus ring 716-011540-001 / Face-upper ring electrode, ceramic 715-011531-015 / Upper electrode 716-011570-001 / Orifice filler, ceramic 715-011753-001 / Upper baffle 715-011913-080 / Lower baffle 716-011009-001 / View window 715-011535-001 / Cathode clamp ring 715-011622-201 / Lifter wafer 4 pin new type 715-028532-002 / Ring colling electrostaic 853-540066-005 / Endpoint dection 853-025054-002 / ESC power supply 796-092338-005 / MKS Chamber manometer 797-008571-103 / Unit pressure control 8130 he 50 sccm 853-031764-002 / Lift pin cylinder 796-006238-001 / Throttle valve controller 853-013541-002 / Assy throttle valve RF Generator: ADVANCED ENERGY PDX-1250 RF Generator, part number: 660-024637-003 Assy RF Match gear driven, part number: 853-015130-002 PCB / DIP, part number: 810-017003-004 RF Power cord, 60 feet RF Cable, 65 feet TCU Signal cable,60 feet TCU Channel to interconnect, 60 feet Transfer: GAP calibration tool Transfer calibration tool Part number / Description 853-012123-001 / Robot (ELL and XLL) 853-012601-001 / Load index assy 853-012600-102 / Unload index assy 853-012200-002 / Inner door 853-012200-002 / Outer door 605-017016-100 / Assy stepper PCB Motor drive 853-029462-001 / XLL Wafer sensor VME PCB: Part number / Description 810-017034-005 / Assy PCB VME 68030 810-017031-004 / ASSY PCB ADIO-AO 810-017038-002 / SIO PCB 810-017388-003 / Ethernet address PCB Gases: CL2 500 SCCM SF6 200 SCCM C2F6 200 SCCM HE 500 SCCM HBR 100 SCCM HE 50 SCCM CHF3 20 SCCM O2 10 SCCM Power supply: Part number / Description 660-091820-001 / 660-091820-003 / DC Power supply: +24V 660-091821-001 / 660-091821-003 / DC Power supply: 5V / 12V / 15V / 24V Manuals included.
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LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款主要用于半导体制造和器件制造的蚀刻器/asher。Rainbow 4420是一款全自动、高性能的干式蚀刻器/asher设备。它能够以高吞吐量提供卓越的蚀刻和灰化质量,非常适合先进的设备制造。LAM RESEARCH Rainbow 4420系统提供超快速蚀刻和灰化,提供卓越的效果。该单元采用模块化设计，采用全系列气体输送机，允许多种工艺配置。它具有先进的射频功率传递技术，即使对于最具挑战性的基板，也能实现精确一致的蚀刻。Rainbow 4420还通过其先进的工艺控制工具提供了增强的蚀刻能力,这些工具提供了准确和可重复的参数。为确保最高的可靠性和性能,LAM RESEARCH Rainbow 4420工具采用了各种硬件和软件控制系统。其中包括先进的控制软件、高速数据采集资产和高级流程模型。控制设备提供了对蚀刻速率、食谱、食谱、参数，甚至过程时序的精确控制。数据采集系统对蚀刻速率和工艺变化进行实时监测。此外,Rainbow 4420单元还提供了一系列高级过程控制和优化工具,例如多步蚀刻排序和跨晶圆同步。它还能够支撑广泛的材料，包括硅、SiO₂和III-V化合物，以及各种不同的层和底物。这使得它适用于各种不同类型的设备。最后,LAM RESEARCH Rainbow 4420机器的设计提供了一种简单经济的方法,可实现单站和多站配置的生产级蚀刻和灰化性能。该工具完全可配置,允许无缝集成到现有的生产过程中。它具有优越的蚀刻质量和较高的吞吐量，是先进设备制造的理想选择。
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