二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #63700 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款高端等离子体蚀刻器，旨在在宽广的工艺窗口上提供精确、可重复的轮廓和蚀刻速率控制。该设备非常适合制造多级互连、MEMS等高性能微电子基板，以及其他各种需要高通量等离子体蚀刻的应用。Rainbow 4420利用基于闭环大气压（APC）、感应驱动端点控制RF （IDEP）等离子体源、高级蚀刻站、晶片处理和自动化解决方桉的大型区域重迭蚀刻室。它具有先进的原位清洗技术以及干式/湿式/溷合式蚀刻能力。除了x-y扫描仪型压板外，系统使用高速原位表面监测单元（ISMS）检测蚀刻参数的变化，如等离子体蚀刻速率、均匀性和轮廓控制。本机还包括最新的高速率蚀刻技术，减少了3D表面结构的蚀刻时间。该工具坚固耐用，确保其性能不受腐蚀性化学物质的影响，并且能够在高达300摄氏度（572华氏度）的工艺温度下运行。该资产制造高质量、高速度、纳米级精度线性和圆形蚀刻，在整个蚀刻区域具有出色的蚀刻速率均匀性和可重复性。车型配备安全功能，提供安全的工作环境，符合严格的安全规定。LAM RESEARCH Rainbow 4420支持各种蚀刻化学，包括CF4、CHF3、C2F6和SF6，以及其他光致抗蚀剂和聚合物基材料。Rainbow 4420允许用户从广泛的蚀刻选项和化学方法中进行选择，同时提供可靠而强大的蚀刻工艺。用户还具有选择温度、压力、流量等多种处理参数的能力，以及执行维护操作的能力。LAM RESEARCH Rainbow 4420为用户提供高效可靠的蚀刻工艺，以产生高精度、多层次、表面性能优越、蚀刻质量优异的结构。凭借其坚固的设计、安全特性以及坚固的工艺和基板处理能力，该设备适用于广泛的高性能微电子应用。