二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9176776 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420 蚀刻器/asher是一种高度先进的全自动蚀刻和灰化设备,专为快速、高精度地生产集成电路（IC）微结构而设计。该系统旨在简化复杂微观特征的蚀刻和灰化过程,具有出色的材料去除率（MRR）、表面粗糙度（Ra）和阈值电压（Vth）控制精度。Rainbow 4420配备了4轴SCARA机器人，以达到最大的整体工艺效率，并满足广泛的应用要求。该单元还配备了一个高精度的运动控制机器，管理机器人功能，使出色的蚀刻和灰烬均匀性。此外,该工具还配备了LAM RESEARCH自动化过程控制（IPC）软件,该软件提供高性能、自动化过程控制和持续监控,以确保产品质量。LAM RESEARCH Rainbow 4420以压力、速度、温度和工艺气体操纵等先进的蚀刻和灰分控制能力构建，以改进工艺控制。这包括控制高温过程气体温度（超过550 °C）的能力,以及超深微米级特征定义的高蚀刻速率（>5,000 Å/min）。它的全晶片加工区可以蚀刻或灰烬到一个12英寸的口袋直径，并且在一个模块中最多支持八个蚀刻口袋。除了先进的能力外，Rainbow 4420资产性价比高，易于维护。其综合湿洗模式节省了化学品的使用，减少了浪费，提高了生产率。直观的LCD触摸屏界面简化了用户互动，并提供了方便的化学维护和错误信息访问，这意味着用户在维护他们的机器方面得到了信息和活跃。LAM RESEARCH Rainbow 4420 蚀刻器/Asher是IC工艺工程师的理想设备,他们希望最大限度地提高蚀刻和灰烬性能,同时最大限度地降低化学和刀具维护成本。Rainbow 4420具有先进的工艺控制和高精度的蚀刻和灰分均匀性,是任何芯片规模生产环境的必备系统。