二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9180738 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款先进的蚀刻器/asher,旨在在干式和湿式蚀刻应用中实现精确的各向异性蚀刻。该设备非常适合3D结构、不同掺杂水平和关键结构的精确制造。Rainbow 4420是一种感应耦合等离子体（ICP）蚀刻器，为改进处理结果提供了对蚀刻参数和腔室环境的精确控制。它具有最先进的ICP源,能够产生各种等离子体密度和功率来处理不同的处理要求。该系统非常精确可靠,可确保关键制造过程中的可重复性和可重复性。LAM RESEARCH Rainbow 4420可用于多种应用，包括多晶硅栅蚀刻、金属化和接触蚀刻、高长宽比特征的各向异性蚀刻以及阳极氧化和金属蚀刻工艺。它能够以精细的分辨率、较小的特征尺寸和出色的精度来蚀刻图样。它也与普通和先进的材料兼容，包括Si、SiGe，甚至III-V化合物。Rainbow 4420提供高效的RF电源传递和增强的过程控制效果,确保了卓越的蚀刻轮廓。该设备采用全封闭、无维护的设计，能够长时间运行而不会中断。这台机器还具有低消耗性成本和最低的污染水平，从而减少了材料浪费，提高了工艺经济性。所有在LAM RESEARCH Rainbow 4420中执行的蚀刻过程都可以通过其直观的用户界面进行监控和控制。该工具配备了健壮的流程监控功能，使操作员能够轻松实时设置、监控和控制流程。先进的数据采集资产允许用户快速分析结果，而智能诊断和安全功能则确保最大程度的安全性和可靠性。Rainbow 4420是一款高级蚀刻器/asher,专为满足当今最苛刻的制造和处理应用程序的需求而设计。高性能、低维护特性使其成为需要卓越蚀刻效果的关键流程的理想选择。