二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9184687 待售
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ID: 9184687
Poly etcher, 8"
Install type: Thru-the-wall (TTW)
Status lamp
SECS I interface
Cassette interface: (2) Hine 38F indexers
Electrostatic chuck (ESC)
Endpoint detection: Monochromator 405nm/520nm
Turbo: SEIKO SEIKI STP H200C
RF Match type: LAM
On-board RF Generators: No
RF Generator: ENI OEM-650A
RF Hours: 402056
Remote RF cart: No
ATM Passivation module: No
Plasma LLK (PLL): No
High conductance manifold: No
Gas box:
Remote gas box: No
Orbitally welded GB: Yes
Backside cooling MFC: Unit 1250A
Gases:
#1: N2, 200 sccm, unit 1200A
#2: CHF3, 50 sccm, unit 1200A
#3: N2, 300 sccm, aera
#4: N2, 500 sccm, unit UFC 1660
#5: CF4,150 sccm, unit 1200A
#6: SF6,150 sccm, unit 1200A
#7: He, 1 slm, Unit UFC 1660
#8: O2, 200 sccm, unit UFC 1660
Pumps:
Heated pumping manifolds: No
Pump controller: iQ Series
Entrance / Exit: EDWARDS iQDP-40
Main: EDWARDS iQDP-80
Chillers: (2) SMC HRS018-WN-20-M
On-board AC distribution type: Fused
Power requirements: 208VAC, 3-Phase, 5-Wire
1993 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款蚀刻器/asher，设计用于各种腐蚀性应用的可靠、经济高效和高产光刻工艺。这种高性能设备提供了高分辨率、大面积处理和最小污染的最佳组合。Rainbow 4420具有30厘米x 45厘米（12 "x 18"）的处理区域,可实现最佳区域覆盖。它由高度耐腐蚀的不锈钢构成，可高效容纳多达6个工艺浴池，允许广泛的应用。该系统能够处理范围最广的可用材料，甚至包括一个集成的感知器升降机，可容纳多达2.5厘米（1英寸）的感知器运动。此外，设计独特的废物回收系统确保任何蚀刻残留物安全地远离加工区，以减少对环境的影响。在操作方面，LAM RESEARCH Rainbow 4420专为在低温真空或低压环境下运行而设计，以确保高效、安全和可靠的操作。独特的感应器升降机和波纹管密封窗口提供了底物装卸所需的必要压力控制。此外，内置的无粒子净化系统和易开关技术共同作用，控制蚀刻过程中使用的超高纯度气流。此外,Rainbow 4420还具有交互式用户界面,可轻松控制和监控。该机还利用嵌入式智能诊断技术进行连续工艺优化。总而言之，LAM RESEARCH Rainbow 4420 蚀刻器/asher是高精度、高产光刻工艺的可靠、经济高效的解决方桉。它提供了先进蚀刻技术和减少环境影响的高效废物回收系统的独特组合。
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