二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9195092 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420 Etcher/Asher是一种开发用于蚀刻和灰分薄膜的先进制造设备。它由一个工艺室、一个控制器单元和一个抵抗室组成。该工艺室由聚氯乙烯酸酯（PVC）制成，包含两个静电垫和一个等离子体电源。静电板负责在蚀刻/灰化过程中将薄膜保持在均匀和稳定的条件下。等离子体电源用于蚀刻和粉刷薄膜。控制器单元由GUI控制，提供机器和操作员之间的通信。使用控制器单元,可以调整温度和压力设置以优化蚀刻/灰化过程并简化操作。彩虹4420利用反应性离子蚀刻和离子辅助灰技术蚀刻和灰极薄膜。薄膜暴露于反应性等离子体，使材料键解离和薄膜的蚀刻或灰化。反应性等离子体由位于电源系统末端的等离子体工具产生。腔室在低压和高温下工作，允许在整个基板上均匀地进行高速率的薄膜蚀刻和灰化。LAM RESEARCH Rainbow 4420效率很高，因为它能够在一个工艺室内进行蚀刻和灰化操作。它还配备了温度控制系统和工艺室冷却系统，使其能够实现高精度处理，并具有可重现的效果。此外,Rainbow 4420还旨在降低运营成本并提高吞吐量。LAM RESEARCH Rainbow 4420以其高精度的操作，是薄膜蚀刻和灰化的理想工具。