二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9226088 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款用于半导体制造的最先进的蚀刻/asher设备。针对从浅蚀刻到深蚀刻的高精度蚀刻和灰化工艺进行了优化。该系统非常适合于等离子体蚀刻、反应性离子蚀刻/DEB、金属/种子蚀刻和光致抗蚀剂灰化工艺。它提供了一个可重复的过程功能，具有均匀性和紧密的端点，这是优于手动过程。该单元使用高精度垂直源,允许用户创建蚀刻/灰烬轮廓,几乎不会过度蚀刻或削弱关键特征大小。Rainbow 4420的多波形发生器允许为每个级别/批次生成多个波形。这允许在多个条带运行中进行过程控制和可重复性。LAM RESEARCH Rainbow 4420可以输出直流、射频、脉冲波形。它还配备了石英单宽模块，提供石英向所有平面基板输送的等时，从而确保整个晶片的均匀性。它还配备了1kW的高能峰脉冲和其他功能,可在所有级别上精确控制蚀刻深度、轮廓和均匀性。该机包括一个射频功率监控工具，控制和优化过程和设备功率，同时保持最精确的蚀刻参数。该资产还配备了ElitePA RF Eyebrow探测器，允许自动化的工艺配方验证。该型号配备了"等待蚀刻"功能，消除了直流能量（偏置或等离子体）和过度蚀刻造成的无蚀刻问题。单独的"Job File Manager"和"Log File Manager"保留每个批次的蚀刻参数,确保每个蚀刻作业都捕获所有重要信息。该设备允许使用标准的、可重复使用的硬件和符合工艺要求的消耗品，以最大限度地提高准确性和降低成本。Rainbow 4420兼容ISO 9001认证的IC制造工艺，遵循半导体行业标准的要求。当与先进的过程控制和用户管理系统结合使用时,LAM RESEARCH Rainbow 4420可提供卓越的产品产量、卓越的过程重复性和可行性。该系统允许用户根据自己的特定需求轻松优化工艺参数，提供大批量生产所需的灵活性和生产率。