二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9226295 待售
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ID: 9226295
晶圆大小: 5"
优质的: 1990
Etcher, 5"
Wafer type: Major flat
Clamp
Temperature control unit: CS15W Chiller
Hardware:
Cassette indexer: Hine indexer 38A
Process kits
Baratron: MILLIPORE 0-10 Torr
RF Rack: ENI OEM-650A XL
RF Matcher
Helium cool system
EDP
(8) MFC Gases:
HE / 500 SCCM / FC-770AC
CL2 / 200 SCCM / FC-780C
HBR / 200 SCCM / FC-780C
CF4 / 200 SCCM / FC-770AC
SF6 / 200 SCCM / FC-770AC
CHF3 / 50 SCCM / FC-770AC
O2 / 10 SCCM / FC-770AC
O2 / 200 SCCM / FC-770AC
Vacuum system:
Loadlock: EDWARDS QDP80
P/C: EDWARDS QDP80 / QMB250
Signal tower
AC Power rack
1990 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款高性能蚀刻器和asher,专为各种材料的蚀刻和灰化操作而设计。它具有高效的真空室、高吞吐量和先进的过程监控能力。Rainbow 4420是一款易于使用的设备,拥有较小的占地面积、坚固的结构和用户友好的界面。其真空机构达到1 Torr的行业标准。其蒸发源设计为达到高温，并提供高通量和低电阻率的基板。腔室由位于设备顶部的温度控制器从底部到顶部保持恒定温度。除了效率和功能外,LAM RESEARCH Rainbow 4420还具有高性能的流程监控系统。该单元能够在处理过程中提供实时信息，确保高质量的结果和可重现的过程。彩虹4420配备了先进的安全机制来保护机器和用户，并包括防止静电放电的工具。该工具还能抵抗极端温度和腐蚀性气体，提供可靠性和寿命。LAM RESEARCH Rainbow 4420可用于干蚀刻沉积、原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）。它提供了在整个蚀刻过程中对层厚度和其他参数的精确控制。腔室也能处理高达8英寸及以上的基板。归根结底,Rainbow 4420是一款用途广泛且可靠的机器,可用于精确且可重现的蚀刻和灰化过程。其先进的特性、精确的控制和安全的好处使机器成为工业界和科学界的理想选择。
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