二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9242186 待售
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ID: 9242186
晶圆大小: 8"
Polysilicon etchers, 8"
Stand alone
SECS Interface
Rainbow mainframe
Integrated SMIF
Orbitally welded gas box
Backside helium cooler
Helium cooling MFC type: UPC-8130
Remote RF cart
LAM 851-180089-111 Remote RF cart
LAM P/N: 851-014680-583-F-GEN Remote RF cart
853-025903-002-A-262C RF Match type
Main on-board AC distribution type: Fused
Remote AC box
Etch chamber
Clamp
ENI OEM-650A RF Generator
EDWARDS IQDP80 Loadlock pump
EDWARDS IQDP80 / QMB250 Etch chamber pump
(2) LAM 2080 TCU Chillers
LAM 852-110198-001-C-6882
Gas box configuration:
Gas line / Gas / Flow (sccm) / MFC / Model
PM1-1 / HE / 500 / Unit / 1660
PM1-2 / AR / 500 / Unit / 1660
PM1-3 / O2 / 50 / Unit / 1660
PM1-4 / C2F6 / 500 / Unit / 1660
PM1-5 / SF6 / 500 / Unit / 1660
PM1-6 / HBr / 200 / Unit / 1660
PM1-7 / CL2 / 500 / Unit / 1660
PM1-8 / NF3 / 0 / Unit / 1660
Power supply: 208 V, 3-Phase.
LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款为先进半导体器件制造而设计的蚀刻/灰分工艺工具。该工具基于Rainbow系列平台,该平台具有高度可配置性和可扩展性,可满足当今不断发展的设备制造需求。Rainbow 4420提供了Rainbow系列的最高吞吐量和最低拥有成本,使其成为许多大容量晶圆级应用程序的理想解决方桉。LAM RESEARCH Rainbow 4420提供了一系列工艺功能,包括蚀刻/灰分、条带和双面蚀刻。它支持多个工艺室以及广泛的基板和阴极，允许灵活和精确的处理。集成的CHA技术实现了非常高的收益,而其3D校正功能降低了非均匀性并增强了配方性能。Rainbow 4420还具有可编程晶片放置控制功能，在整个配方中提供精确的晶片运动控制。该工具具有高级流程控制和监控功能,即使在要求最苛刻的应用程序中也能实现精确的端点检测和调整。该工具的核心模块是Super Fab控制器，能够同时管理多达8个工艺室，以及其先进的工艺控制和监控系统。Super Fab还提供了集成校准系统，以确保最佳性能。LAM RESEARCH Rainbow 4420专为快速、低成本的设备层生产而设计。它完全符合SEMI SECS/GEM标准,正常运行时间为99.9%。该工具还具有广泛的附加附件选项,包括电源负载、虚拟晶片和溅射模块。它还与YieldFlex软件套件兼容,提供了一系列增强的产量优化选项。Rainbow 4420是一款可靠高效的工具,提供卓越的性能和可靠性。该工具具有出色的灵活性和可靠性,非常适合许多设备制造应用。
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