二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9262992 待售
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ID: 9262992
晶圆大小: 8"
Plasma etcher, 8"
Thru-the-wall (TTW)
Status lamp
SECS I Interface
Cassette interface: (2) HINE 38F indexers Electrostatic Chuck (ESC)
Endpoint detection: Monochromator 405nm / 520nm
Turbo: SEIKO SEIKI STP H200C
RF Match type: LAM
RF Generator: ENI OEM-650A
RF Hours: 402056
Gas Box:
Orbitally welded GB
Backside cooling MFC: 1250A
No remote gas box
Gases:
N2, 200 sccm, unit 1200A
CHF3, 50 sccm, unit 1200A
N2, 300 sccm, area
N2, 500 sccm, unit UFC 1660
CF4, 150 sccm, unit 1200A
SF6, 150 sccm, unit 1200A
He, 1 slm, unit UFC 1660
O2, 200 sccm, unit UFC 1660
Pump:
Pump controller: iQ Series entrance
Exit: EDWARDS iQDP-40
Main: EDWARDS iQDP-80
(2) SMC HRS018-WN-20-M Chillers
On-board AC Distribution type: Fused
No heated pumping manifolds
No high conductance Manifold
No ATM passivation module
No remote RF cart
No on-board RF generator
Chiller and RF included
Does not include vacuum pump
Power supply: 208 VAC, 3 Phase, 5-Wire.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 蚀刻器/asher是一种高性能、精密的仪器,旨在减少侵蚀、修改和在各种基板上创建复杂的图桉。Rainbow 4420是一种高度通用的蚀刻器/灰化器，能够处理多种材料，包括石英、硅、砷化移动散剂和其他半导体材料。LAM RESEARCH Rainbow 4420利用激光烧蚀、离子束辅助蚀刻、反应性离子蚀刻和化学气相沉积等先进技术和技术，产生了严格的结果。Rainbow 4420具有广泛的特定于应用程序的处理能力和功能,旨在满足各种电子和半导体应用的特定工艺要求,包括形成一层薄薄的导电材料。LAM RESEARCH Rainbow 4420具有这些先进的功能,并在可靠性和效率方面享有盛誉,它是一个一流的解决方桉,可用于要求超精细特征准确性和可重复性的蚀刻和灰化请求。Rainbow 4420提供出色的性能和灵活性。它的模块化设计确保可针对每一个应用程序优化可配置性,并且设备的开放式平台体系结构有助于快速交换和优化本地参数。配备了强大的可配置晶圆分析系统，LAM RESEARCH Rainbow 4420允许实时精确测量和分析蚀刻和灰化结果的质量。Rainbow 4420具有高度可靠的机械单元和多用途的真空室选项阵列,以适应不同的过程,包括批处理、单片处理和直列处理。LAM RESEARCH Rainbow 4420利用先进的控制和温度管理系统,确保过程的稳定性,减少机器引起的不均匀性。该工具还可以提供一个自动校准程序，以确保最佳的资产调整和性能。Rainbow 4420非常适合高端蚀刻和灰化需求,最多可装载12种工艺配方,从而轻松创建复杂的工艺序列。为了提高操作精度和可重复性，LAM RESEARCH Rainbow 4420配备了两个独立的等离子体源，可用于蚀刻和灰化。高精度的过程结束监控功能有助于防止过度蚀刻和灰化,其高精度快门有助于将重复性提高到+/-0.2微米。凭借其先进的技术规格,Rainbow 4420为业界提供了一个功能强大、准确的解决方桉,可用于广泛行业的蚀刻和灰化应用。
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