二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9300193 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款用于半导体工艺技术的蚀刻器/asher。适用于晶片加工的正反两面，可用于多晶硅蚀刻和灰化、金属蚀刻和平面化等多种应用。4420旨在在长时间的处理过程中提供高均匀性、均匀性和吞吐量。4420是一种非接触式工具，利用等离子体的蚀刻和灰化技术对目标基板表面进行化学蚀刻。刀具的双腔室设计消除了基板的交叉污染。4420能够进行热挖掘和退火处理，可以加工直径达125毫米的基板。4420还拥有一个获得专利的快速等离子体罐t/d开关，允许用户从等离子体蚀刻快速切换到干蚀刻。4420配备了一些先进的工艺技术，以实现一致的、可重复的结果。它提供了中高功率蚀刻工艺的高级调整,以及较慢、低功耗蚀刻的数字调整。此外，4420还有一个完全集成的16区域矩阵，允许用户根据自己的具体应用需求定制流程。4420得到了LAM RESEARCH广泛研发的支持，这也是其整体设计高度可靠稳定的原因。即使在恶劣的环境中,它也能够长期稳定运行,使其成为大批量制造过程的首选。该工具有多种保护机制，以保护敏感基板免受损坏。此外，它与众多的监测和过程控制系统兼容，提供了先进的可追踪性和反馈。综上所述，Rainbow 4420是一款先进、可靠的蚀刻器/asher，适用于各种高级工艺应用。它具有多区域矩阵和过程调整功能,可实现一致和可重复的结果,而其设计特点则可确保高均匀性和吞吐量。LAM RESEARCH Rainbow 4420具有多重保护功能,是任何半导体应用的明显选择。