二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9300194 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420
ID: 9300194
晶圆大小: 6"
Poly etcher, 6".
LAM RESEARCH Rainbow 4420是一种先进的蚀刻和灰化工具,用于制造高科技电子设备。此工具应用材料的薄层(如绝缘层)来创建阵列蒙版或其他结构。Rainbow 4420蚀刻和灰化器提供了高精度的蚀刻和灰化层,具有出色的重复性和均匀性。LAM RESEARCH Rainbow 4420配备了最先进的源室,里面装有刚性挡板和真空泵,提供了极其干净、无颗粒的环境。为保证高通量、低成本运行,系统配备了集成电阻加热器,用于快速热处理。彩虹4420还包含一个气体柜子,里面有一个混合了氙气、氧气和氮气,以及其他可能的气体。这种气柜是完全自动化的,并提供完美的控制蚀刻条件.LAM RESEARCH Rainbow 4420以顺序蚀刻和asher两种模式运行,或并行蚀刻和asher。在顺序模式下,晶片加载到系统中,然后执行第一次蚀刻,然后再执行灰分。在并发模式下,晶片同时受到蚀刻和灰化的影响。此模式非常适合层间隔离、选择性、掺杂和保护层等应用。Rainbow 4420包含一个用户友好的图形用户界面(GUI),便于编程和监控。GUI显示所有相关参数,操作员可以根据需要对其进行调整,以优化结果并提高过程的可重复性。LAM RESEARCH Rainbow 4420蚀刻和asher还提供温度和压力的组合控制,允许精确和精确的蚀刻和灰化。Rainbow 4420是多种类型半导体和电子器件的理想蚀刻和灰化工具,提供了广泛的优势,包括出色的重复性、均匀性和低成本的操作。无论是在顺序模式还是并发模式下使用,LAM RESEARCH Rainbow 4420工具都是在蚀刻和灰化方面取得卓越成绩的绝佳选择。
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