二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9300199 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款蚀刻器/asher，又称等离子体蚀刻器，设计用于沉积薄膜、蚀刻特征图样和创建支持设备加工的等离子体涂层。它可以将介电和多晶硅薄膜沉积在各种高度、宽度和深度。彩虹4420蚀刻器提供了蚀刻或粉刷多种材料的能力，包括多晶硅、氧化硅和氮化硅。蚀刻器还提供了出色的重复性和均匀性在材料蚀刻或灰化过程。LAM RESEARCH Rainbow 4420蚀刻器利用同步的S/D工艺来统一沉积和清洁基材。这一过程利用一个组合的射频偏置，基板偏置和气体注入蚀刻更均匀的蚀刻结构和清洁基板非常重复和均匀的方式。组合工艺还支持高质量蚀刻到尽可能低的成本。Rainbow 4420蚀刻器具有模块化、灵活的体系结构,可提供跨材料、基材和蚀刻轮廓的高正常运行时间和一致性。该蚀刻器采用线性电动机驱动的旋转工作台，可快速切换基板，并在不同的限制和/或条件下提供灵活性。LAM RESEARCH Rainbow 4420蚀刻器还采用基于视觉的对齐系统，以减少手动对齐，进而降低人为失误的风险。彩虹4420蚀刻器具有多个气体通道和直接气体注入，提供了最佳的气流，从而提高了选择性，创造了优化的蚀刻轮廓。它还利用涡轮泵浦、计算机控制的真空系统和负载锁定技术，以最短的泵降时间确保清洁和一致的等离子体处理。LAM RESEARCH Rainbow 4420蚀刻器还配有一个用户友好的控制系统，可以访问配方，并在其图形用户界面上提供详细的流程信息。该软件具有强大的批处理能力，可用于加载、卸载和监控多个配方。该软件还支持流程数据和存档配方的可追踪性,以供将来使用。总体而言,Rainbow 4420蚀刻器为业界提供了一种经济高效的蚀刻和等离子体处理工具,该工具旨在实现各种蚀刻配置文件的可重复性和均匀性。蚀刻器独特的设计提供了可重复和统一的工艺结果，使半导体制造商能够获得更可靠和一致可重复的结果。