二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9364647 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一种为提供高效晶圆蚀刻而设计的蚀刻器或asher设备。此系统以长2.5英尺（761毫米）、宽4.2英尺（1290毫米）的长方形加工室为特色。该工艺室配有对流底部清洁阶段、输送和引入不同气体的气体歧管和下游等离子体蚀刻源。彩虹4420由一台400 MHz射频发电机供电，与电容耦合和电感耦合过程模式兼容。这使得设备具有足够的通用性,可以处理各种过程要求。这台机器在加压和真空环境下运行，可以选择蚀刻化学和技术。LAM RESEARCH Rainbow 4420适合做多种蚀刻技术，如各向异性、各向同性和深层反应性离子蚀刻（DRIE）。它还提供半自动晶片加载和后蚀刻基板去除，允许更大程度的过程控制。Rainbow 4420配置用于一次加载多达200个8英寸（200毫米）晶片,尽管此数字取决于所选的蚀刻化学性质。该工具提供每分钟1-400埃的蚀刻速率。它还允许最多6个顺序蚀刻步骤，这些步骤可以存储在用户定义的配方库中。LAM RESEARCH Rainbow 4420是一种多功能蚀刻器或asher资产，提供大量蚀刻能力和工艺控制选项。其400 MHz射频发生器允许广泛选择蚀刻化学和技术，蚀刻速率高达每分钟400埃。它有一个大的加工室，一次最多可以容纳200个8英寸（200毫米）的晶片，并提供多达6个顺序蚀刻步骤。利用用户定义的配方库存储蚀刻过程,Rainbow 4420可以为所有蚀刻应用程序提供可靠且可重复的结果。