二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9374752 待售
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ID: 9374752
晶圆大小: 5"
Oxide etcher, 5"
Bulkhead system mount with tunnel covers
HINE 38A Open cassette
Send / Receive indexers
LED Monitor
ADVANCED ENERGY RF Generator
Moving gap
Back helium colling
Belt driven load station
Standard load station shuttle spatula
Upper chamber gap drive encoder
Aluminum upper chamber electrode
Single lower chamber endpoint detector (405 / 520 nm)
Low pressure chamber manifold
HPS Valve for chamber isolation
AC-2 Chamber pressure controller
Lower chamber RGA port
MILLIPORE CMHT-11S02 10 Torr Chamber manometer
MILLIPORE CMLA-21 100 Torr backside helium manometer
TYLAN GENERAL CMHT-11S02 10 Torr reference manometer
(8) Orbital gas boxes
(1300) UPC: He (50 SCCM)
Trip breakers AC / DC power box
Power supply: 208 V, 175 A, 60 Hz, 3 Phase, 5 Wires.
LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款高度先进的蚀刻/asher设备，专门设计用于半导体加工。该系统利用先进的蚀刻技术，能够对各种基材进行精确蚀刻，如硅片、氧化层和各种电介质。Rainbow 4420采用模块化结构,具有多个可配置选项。它包含一个高效的湿式加工室、气体淋浴头、等离子体辅助蚀刻单元，以及一个先进的动力、气体和冷却剂分配机，这些都集成在一个单元中。加工室设计为保持精确的温度和压力环境，允许高速精确蚀刻。气体喷头利用高浓度缓冲器和低温等离子体来维持蚀刻气体的温度，并确保最大效率和操作可靠性。等离子体辅助蚀刻工艺提供了对蚀刻工艺的精确控制，确保了高质量的结果。LAM RESEARCH Rainbow 4420还包括一个先进的激光成像工具，能够精确处理各种基板。这使得它成为低温、高精度蚀刻以及高电流、高分辨率工艺的理想选择。最后，Rainbow 4420在其建造中还内置了一系列安全功能，确保了所有运营商的完全安全。其中包括氢传感器、惰性气体输送资产、紧急关机模型和集成诊断设备。诊断系统监视温度、压力和其他参数,并在其中任何一个值超出其预定范围时通知操作员。总体而言，LAM RESEARCH Rainbow 4420是一个先进的蚀刻和灰化装置，旨在提供精确、高质量的结果。它结合了精密蚀刻能力、可自定义的处理变量和强大的安全特性，使其成为半导体处理的理想选择。
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