二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9384291 待售
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ID: 9384291
晶圆大小: 6"
Plasma etcher, 6"-8"
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump chamber
Indexer type: Hinge 38A, 6"-8"
Robot type: Harmonic drive
Robot blade: AL, 6"-8"
EMO Button guard rings
CRT Monitor
Chamber type: Standard
Process: Plasma cleaner
Controller: 32-Bit Microprocessor with CRT
AL Anodize
Source type: Plasma system
RF Power: OEM-12A
Photodiode optical Endpoint
AC2 Pressure control
Temp control: Chiller
Chuck Type: Mechanical clamp, 6"
Match: Manual
Gases:
Model / SSCM / Gas
UFC-1200 / 100 SCCM / O2
UFC-1200 / 300 SCCM / O2.
LAM RESEARCH Rainbow 4420是用于开发和制造复杂半导体器件的最先进的蚀刻/灰化设备。凭借其先进的技术,Rainbow 4420能够在蚀刻和灰化过程中提供异常高的性能。LAM RESEARCH Rainbow 4420由于工作面积大，下腔顶部电极之间的距离可调，因此提供了极好的灵活性。为了增加工艺可靠性,Rainbow 4420配备了自动电极调节（AEM）系统,该系统允许快速、精确地对准下部和顶部电极,从而实现精确和可重复的工艺。该单元由自动计算机数值控制（CNC）机提供动力,使其能够自动执行多个不同的蚀刻和灰化操作。这种数控工具具有高精度和最优的可重复性，可精确控制过程和重复性。为了提高安全性，LAM RESEARCH Rainbow 4420配备了真空室，在蚀刻/灰化过程中有助于保护基板的完整性。这减少了交叉污染的可能性，有助于维持成品的质量。彩虹4420还能在高速运行的同时仍能产生优异的效果。资产可以运行各种过程配方,包括蚀刻和灰化,以确保满足最复杂的要求。总体而言,LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款高度先进的蚀刻和灰化模型,它利用现有的最新技术提供卓越的效果。这种设备是为质量保证和卓越的工艺控制而设计的，是任何半导体开发和制造实验室的绝佳选择。
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