二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9406916 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款批量等离子体灰烬/蚀刻器，设计用于各种研发和生产环境中的高通量处理。这款asher具有出色的工艺控制、先进的高密度等离子体技术、全面的环保等特点。Rainbow 4420提供了卓越的掺杂轮廓、步进覆盖和晶圆均匀性。该设备还专门为无掩码和单计数器处理而设计。LAM RESEARCH Rainbow 4420在多晶硅、poly-SiGe、SiO2、low-k薄膜等多种材料中提供最佳蚀刻性能。该系统对反应性离子蚀刻（RIE）工艺具有极好的控制，在宽晶圆尺寸范围内提供了卓越的均匀性。Rainbow 4420还提供出色的均匀性和步进覆盖率,具有较高的蚀刻速率和选择性。该装置有可配置的气体输送机，支持多种蚀刻技术和工艺。LAM RESEARCH Rainbow 4420还配备了高级UPAV、WSUV和ATXV单元等多项安全环保功能。UPAV（用户保护和分析可见性）单元监视处理参数并确保工具中的最佳环境条件。WSUV（晶圆灵敏度单位）测量晶圆均匀性,并确保过程结果一致且可重复。ATXV单元控制挥发性有机物，净化废气，确保安全的工作环境。Rainbow 4420还具有最先进的用户界面，这使得控制蚀刻过程更加容易，更方便用户。用户界面允许用户实时监控关键流程参数，并根据需要调整设置。该界面还具有警报和警告功能,在此过程中提醒用户注意问题或异常。LAM RESEARCH Rainbow 4420是研发和生产应用的理想蚀刻器/asher,其中蚀刻工艺控制和精度是关键。提供卓越的吞吐量、过程控制和性能,以及卓越的安全和环境保护。强大的用户界面和先进的监控系统使该资产成为任何蚀刻设施的绝佳补充。