二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9406962 待售

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ID: 9406962
Plasma etcher.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 Etcher/Asher是一种用于生产半导体晶片的坚固、高端的加工设备。与其他蚀刻方法相比,它具有许多优势,包括更高的速度和精度、提高的产率以及灵活的化学性能。彩虹4420包括三个主要组件:腔室、负载锁和操作员控制台。腔室装有模具,其中包括焦点组件、三种不同的喷嘴设计和处理控制器。它的设计目的是通过外部加热器和气体控制相结合,产生最高的温度和最高的吞吐量。负载锁的设计使基板能够快速装卸,有助于提高吞吐量。它还包括额外的安全系统,如压力传感器和关闭机制。操作员的控制台是管理蚀刻过程的地方。它提供了一系列高级控制参数和相关信息,如压力和温度。LAM RESEARCH Rainbow 4420能够处理从4英寸到13英寸的各种基材,并提供多种副产品收集策略,如持续回收和回收、红外减排、碎片化和/或沉积。它也是为高基材吞吐量而设计的,一次最多有四个晶片,容纳4 "x 4"到8 "x 12"的基材尺寸。Rainbow 4420是自校准的,因此可以依靠它来始终如一地生产高品质的零件。LAM RESEARCH Rainbow 4420设计为维护最少,因此其可用性和有效性可以长期保持。它还带有一个内置的材料氧化保护系统。Rainbow 4420是使用一系列集成的安全协议制造的,例如安全关闭和服务中断。就其能耗而言,LAM RESEARCH Rainbow 4420是最节能的蚀刻器之一。它旨在保持整个手术室的均匀条件,以减少温度循环或脉冲处理的需要。这有助于确保在设计参数内执行蚀刻。总体而言,Rainbow 4420 Etcher/Asher是一款用途广泛、可靠且高效的蚀刻硬件。它旨在以最小的停机时间和最大的吞吐量产生高质量的结果。它可以处理一系列基板,并提供诸如副产品收集、基板吞吐量优化和集成安全协议等功能。它也是为最大的能源效率而设计的。
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