二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9410077 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款为超高均匀性和吞吐量而设计的先进垂直蚀刻器和asher。它非常适合硅和非硅材料的图桉。这个独立的单元提供从低压等离子体到高能离子能量沉积的优越过程控制。该设备提供了独特的气体面板和创新的气体溷合系统，允许用户精确匹配过程的目标材料。使用外部气体面板，可以实现均匀的原位蚀刻和清洁。三维光学单元提供了分辨率为250 nm的工艺区内外图像。在Rainbow 4420中，磁阵波导对平面和圆柱基板都提供了极为均匀的处理。加上机器的等离子体过程，阵列波导能够调整参数以匹配正在处理的材料。LAM RESEARCH Rainbow 4420专为优越的特性转移而设计。一个先进的腔室和可变多离子源工具的组合，在低电阻率下实现了优异的特征定义。此外,该设备还可以通过干蚀刻工艺实现超低的进刀速率和小直径到1.5 μ m的特征轮廓。彩虹4420非常适合大批量生产复杂结构。这是通过提供高达20 nm的高分辨率功能的高级多步骤阵列处理完成的。此外，它的多步高长宽比沉积工艺允许更高的面积填充要求，而不影响产量。LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款可靠而健壮的机器，高度自动化，具有极好的可重复性。它与LAM RESEARCH分布式智能平台集成,消除了手动错误,简化了数据导出。此外，该资产还包括若干安全特征和广泛的烟囱选择，以保护人员和产品。总体而言,Rainbow 4420是一款功能强大的蚀刻器和asher,可提供最高级别的过程控制、特征转移和一致性。该模型独特的气体面板非常适合将工艺与目标材料相匹配，而其磁阵波导则能实现卓越的特征定义和区域填充。LAM RESEARCH Rainbow 4420是高容量生产分辨率低至20 nm的复杂结构的理想选择。