二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9411613 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款在半导体应用中提供无与伦比的精确度和工作效率的蚀刻器/asher。彩虹4420具有广泛的先进功能，旨在最大限度地提高吞吐量，包括强大的控制设备、多种蚀刻配方以及精确的温度和压力控制。该系统的强大设计允许更高的精度和一致性蚀刻和灰化结果。LAM RESEARCH Rainbow 4420为用户提供了在单个蚀刻或并发蚀刻/灰分循环之间进行选择的灵活性,具体取决于所需的过程。多个运行也可以组合为一个操作。该设备的控制机具有直观的用户界面,允许快速的配方设置、参数调整和数据日志记录,以实现最大的流程优化和可追踪性。该工具的双加工室允许同时运行多个蚀刻过程，每个室有一个单独的气体输送资产。彩虹4420还具有独特的大气控制模式，采用先进的射频控制气流设备，提供精确的气流控制和均匀的腔室冷却。该系统还具有一个先进的冷却装置，以保持室内温度一致，允许重复和精确的晶圆结果。LAM RESEARCH Rainbow 4420 蚀刻器/asher真空容量为1 Torr，严密工艺温度范围为-15°至+30°摄氏度。可以创建和存储多个蚀刻/灰分配方,每个配方具有可调参数,如蚀刻精度、速率、温度和时间。该机还提供了一系列不同的蚀刻气体，允许蚀刻20多种不同的材料，包括多晶硅、镍和铝。该工具还具有保护人员和设备的高级安全功能,例如基于射频的互锁资产,以防止意外的射频干扰。Rainbow 4420被设计为极具能源效率，估计每小时蚀刻的总能耗为14 kWh。该设备还具有内置风扇和警报模型,可在设备接近其最大容量时向人员发出警报。LAM RESEARCH Rainbow 4420 蚀刻器/asher是一个最先进的系统,非常适合希望在蚀刻和灰化操作中实现最大生产力和精确度的实验室、公司和大学。这个大容量的工具提供准确和可重复的结果，使设施能够快速和可靠地生产晶片和/或组件。Rainbow 4420的易用性、坚固的设计和精确的控制功能,对于那些希望最大限度地提高其蚀刻和灰化操作效率的用户来说,是一个极好的选择。