二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9411620 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420 Etcher/Asher是一种先进的微电子电路制造的蚀刻和起重装置。是介电沉积、环环形成、氧化硬化的理想选择。Rainbow 4420允许对直径达150 mm的基板进行精确、均匀的加工,最大高度为25 mm,用于升空加工。它包括一个多层次的过程控制选项，允许可调节的温度、压力和时间周期参数，以提高过程的可重复性和生产效率。LAM RESEARCH Rainbow 4420采用两室配置。蚀刻室提供了大气等离子体技术的好处，为均匀蚀刻提供了清洁、低颗粒的工作环境。升降机室提供基板的自动化处理，以及高性能的磁驱动聚焦机构，以提高工艺精度。Rainbow 4420的蚀刻室设计为提供无抗蚀剂、灰尘和金属颗粒的清洁加工。室内温度控制，便于处理工期。其数字控制系统允许有效利用天然气资源和蚀刻结果。LAM RESEARCH Rainbow 4420的升降机室配备了专有的高性能分段式磁力驱动聚焦元件，提供了高度精确的结果。该腔室还提供了一个旁路站，用于将基板转移到起重机室。Rainbow 4420具有精确的过程控制功能,具有广泛的可编程参数,包括压力和温度设置。通过平稳的操作和精确的控制，这可以使设备产生一致的结果。它还设有一个材料管理机器，以确保气体和化学品的精确溷合，以完善的过程控制。LAM RESEARCH Rainbow 4420工具带有一个直观的基于Windows的软件界面,使操作员能够完全控制蚀刻过程以及提升过程。这允许进行深入的监视、性能调整和数据记录,以实现最大的控制和准确性。Rainbow 4420是一种精密的蚀刻和升降机，为微电子电路制造提供了最高水平的精度和控制。它具有强大的处理能力和精确的控制能力,可帮助用户在制造过程中获得最大的效果和生产力。