二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420B #293828102 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420B是一种蚀刻器/asher,设计用于在宽材料和特征尺寸范围内生产高质量、均匀的蚀刻。这台高度自动化的设备配备了一个离子源和一个设计为精确对准的控制器，允许快速准确地放置离子，以获得最佳蚀刻速度和均匀性。控制器能够控制源频率和功率,从而能够为高长宽比蚀刻和等离子体清洗等应用设置多个等离子体频率和功率级别。它在反应堆室内保持离子均匀分布的能力进一步确保了均匀蚀刻轮廓。彩虹4420B设有两个独立的反作用室，两者均采用不锈钢制成，以提高耐腐蚀性。腔室由USB控制，便于设置和操作。两个腔室都配有射频电源，能够控制功率水平。单一气体输入系统允许将Ar、N2、O2和其他工艺气体引入蚀刻器/灰化器。此外，该单元还配备了先进的温度控制器、真空控制机和精密的诊断工具等功能，这些都是为了优化资产性能而设计的。温度控制器允许对两个反应室进行精确的温度控制，真空控制模型提供了过程压力的快速倾斜。LAM RESEARCH Rainbow 4420B还配备了薄膜反射率测量、石英晶体监视器、光学干涉仪等先进的测量能力。这些功能旨在促进过程控制,并允许实时监控蚀刻过程。Rainbow 4420B结合了精确度、灵活性和均匀性,为蚀刻和灰化应用提供了出色的解决方桉。它的高级功能和自动化操作可提高流程重复性和高吞吐量,而其复杂的诊断功能可实现快速故障检测。对于需要快速、高密度蚀刻和均匀特征尺寸的应用,该设备是一个极好的选择。