二手 LAM RESEARCH Rainbow 4428 #9272635 待售
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LAM RESEARCH Rainbow 4428是一种蚀刻器/灰化器,具有蚀刻或灰化多种材料的能力,包括硅、氧化硅、GaAs和GaN。它是大容量蚀刻和灰化工艺的理想选择,旨在通过提高吞吐量和控制成本来提供最大的投资回报。彩虹4428的温度范围为25°C至250°C,气流和压力设置可调。它还具有一个涡轮马达,提供高速和高效蚀刻过程。它能够产生超高纯度的结果,并有一个自动清洗设备,以确保在蚀刻室内的高水平的清洁。LAM RESEARCH Rainbow 4428采用大容量负载锁设计,可提高蚀刻/灰度速率。载荷锁还可以减少热对被加工零件的影响。该系统能够控制气体输入以确保精确蚀刻,并且与各种前体源兼容。彩虹4428还包括一个高速压力泵单元,以提供最高级别的蚀刻/灰度性能,从而最大限度地提高工艺效率。该机设有石英反应堆室,确保蚀刻工艺清洁高效。此外,LAM RESEARCH Rainbow 4428配备了直观的用户友好界面,便于操作。它还有一个空气轴承驱动的升降台和先进的安全功能,以提供可靠和安全的操作。升降台的设计使晶片支架无论是盒式磁带还是托盘都能快速方便地定位。升降台还设计用于在蚀刻过程中提供出色的样品对准。总体而言,Rainbow 4428是小型和大型生产各种基材的理想蚀刻器/asher。它采用了工艺控制方面的最新技术进行设计,以最大限度地提高准确度,最大限度地减少不确定性,并配备了安全功能,以确保可靠和安全运行。
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