二手 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #151093 待售

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ID: 151093
晶圆大小: 8"
优质的: 1991
Oxide etcher, 8" Standalone configuration Software: Envision Wafer held by electrostatic chuck Plumbed for gases: Ar, He, N2, O2, CF4, CHF3 Power: 208 Volts, 3-phase, 30 Amps Ergonomic cassette-tilt option 1991 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4500 蚀刻器/asher是一个先进的两用半大气系统,提供精确可靠的等离子体蚀刻和湿法处理能力。适用于多种高端先进镀蚀刻应用。Rainbow 4500带有一个完全集成的x, y, z阶段,允许用户从头到尾精确控制蚀刻和镀层过程。它灵活的设计允许用户利用同一台机器实现完整流程的自动化。它的大腔室尺寸使得它成为蚀刻或镀大基板的绝佳选择。LAM RESEARCH Rainbow 4500专为先进的等离子体蚀刻和粉刷应用而设计。它采用先进的射频电源进行精确蚀刻和均匀沉积。产生的射频能量集中在蚀刻室内,从而在所有蚀刻应用中具有高度的准确性和可重复性。Rainbow 4500配备了多种标准功能,使用户能够量身定制自己的蚀刻和电镀工艺。这些特性允许用户控制诸如蚀刻速率、蚀刻深度、沉积速率、薄膜特性、蚀刻轮廓、甚至层厚度等过程变量。LAM RESEARCH Rainbow 4500的灰度部分可以处理多种过程,包括化学气相沉积和干蚀刻。它还能够控制扩散、轮廓和模式化过程。此功能使用户可以创建传统电镀方法难以实现的独特而复杂的结构。Rainbow 4500在性能和多功能性方面处于行业领先地位。当与高端镀层或蚀刻工艺结合使用时,它可提供优异的效果。它的集成特性允许精确和可重复的过程控制,确保每一个蚀刻或镀基板是质量最高的。因此,LAM RESEARCH Rainbow 4500对于需要无与伦比的精度和可重复性的蚀刻和镀层应用来说是一个绝佳的选择。
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