二手 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #293595658 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4500是一款基于等离子体的蚀刻器/asher，设计用于生产、研究和其他需要对各种材料进行精确蚀刻和灰化的应用。该设备非常适合微电子、光电子、生物电子等的蚀刻和灰化。它提供了高吞吐量,在某些蚀刻应用程序中的周期时间小于20秒,并且具有实现广泛蚀刻参数的灵活性,以适应不同垂直市场的工艺要求。彩虹4500利用冷阴极、感应耦合等离子体（ICP）和涡轮泵送技术，从包括SF6、CF4、O2、Ar等稀有气体在内的化学前体产生高密度等离子体。其低热预算为敏感材料基材，如GaAs和其他III-V化合物提供了更高水平的控制，而其先进的均匀性控制则确保了高要求涂层和蚀刻应用的准确性和可重复性。该系统还配备了最新的工艺自动化技术，包括自动化气体输送、压力和温度控制以及等离子体功率监测。该单元能够编程多达15种不同的工艺配方,从而实现快速高效的工艺工具调整。此外，其先进的监测功能监测基板温度和腔室压力，以确保安全和可重复操作。LAM RESEARCH Rainbow 4500的占地面积仅为2 x 3英尺,因此可以轻松集成到任何实验室或制造环境中。蚀刻器/asher还具有各种用于安全连接和易于安装的附件,以及用于快速轻松设置的教程库。该机器非常可靠,在大多数应用程序中可提供高达98.5%的正常运行时间,因此非常适合高溷合生产需求。总体而言,Rainbow 4500是一款高度先进的蚀刻器/asher,它为电子元件的蚀刻和粉刷提供了一个强大而灵活的平台。它具有先进的工艺控制、广泛的配件和可靠的操作，使其成为各种生产和研究应用的理想选择。