二手 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #293757796 待售

LAM RESEARCH 4500是一种用于干蚀刻工艺的反应性离子蚀刻器（RIE）设备。它配备了一个26厘米LAM RESEARCH平行板大面积等离子体源的CO2/SF6，提供高蚀刻速率和均匀性。该系统容纳200毫米晶圆，可以均匀地蚀刻具有一系列掺杂水平的表面。它能够蚀刻具有挑战性的材料如Al2O3、SiO2和有机材料。该装置有13个加工室，可用于更精密、更精确的蚀刻晶片工艺。通过控制晶片进纸器提高了蚀刻工艺的精度，该进纸器可以容纳不同晶片上一致的厚度。该机还具有精确的速度浮带工艺，使蚀刻工艺能够精确地调整到被蚀刻的材料上。该工具的其他功能包括温度和压力控制,以帮助创建可重复且一致的蚀刻过程。4500可用于蚀刻多种材料，如金属氧化物、化合物、氮化物、烯烃等。凭借其精密的蚀刻工艺和长期的可靠性，非常适合多种应用，包括MEMS器件、纳米技术和微编造电路。