二手 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #293762182 待售
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LAM Rainbow 4500是一款高性能、激光辅助的化学蚀刻设备，设计用于处理氧化物、聚酰亚胺等薄膜材料。这个先进的蚀刻系统结合了紫外线（UV）激光烧蚀和化学蚀刻技术，以比其他蚀刻系统更快的速度取得优异的成绩。Rainbow 4500具有高精度的3轴运动控制单元，在蚀刻过程中提供出色的重复性和准确性。三轴中的每一轴都有自己的专用伺服电动机和车载驱动程序，提供对蚀刻过程的精确控制。该机还包括一种半导体激光器，用于将紫外线激光束精确定位和绘制到基板表面上。这种紫外线激光器的波长为355nm，能够产生30 µm以下的光斑尺寸。为了优化蚀刻效果，LAM Rainbow 4500有一个集成的过程控制工具。通过计算机化的工艺控制资产，用户可以同时调整激光参数和化学解决方桉，以使蚀刻工艺适应特定的任务。该模型还具有稳固的安全特性，包括对沉积速率降解、孔填充等进行回缩。Rainbow 4500配有自动化的清洁和干燥设备,便于维护。该系统可确保蚀刻器随时可用,并最大程度地减少停机时间。其耐用的构造使其成为工业和研究应用的可靠、长期的工具。综上所述，LAM Rainbow 4500是一款结合激光烧蚀和化学蚀刻技术，快速准确加工薄膜材料的最先进的蚀刻装置。其计算机化的过程控制机提供精确的控制和灵活性，并以其自动清洗和干燥工具易于维护。其卓越的精度和可重复性使其成为各种行业和研究应用的理想工具。
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