二手 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #293772754 待售

LAM RESEARCH 4500是一款具有最先进等离子体源技术和高度可控设备的蚀刻器/asher，可用于许多蚀刻应用。该系统具有坚固、易于维护的硬件,在高吞吐量蚀刻过程中提供可靠的性能,并具有业界领先的ICP-MS。与传统蚀刻器不同，4500使用工业等离子体单元（IPS）进行电子回旋共振（ECR），利用高频电场对电离气体种类进行通电和加速，以进行更深、更均匀的蚀刻。这种先进的等离子体源，结合亚微米蚀刻分辨率，使用户可以从广泛的材料中精确去除材料。LAM RESEARCH 4500是一款易于维护的机器,可提供良好的保护,防止室内污染和驱动器反馈,同时还能快速轻松地进行室内清理。它还通过"负载锁定"提供自动晶片加载,帮助最大限度地提高吞吐量并降低人工成本。4500 蚀刻器/asher利用先进的工艺控制和基于配方的综合平台实现最佳蚀刻性能。该工具有助于提供尽可能最好的蚀刻结果,具有室内安全性、均匀性和可重复性。此外，它们的前沿ICP-MS解决方桉有助于确保连续的原位过程控制，并可以监测多个参数，如​​的氙纯度和工艺工具条件。这使用户能够快速识别和响应任何重大的流程更改。总体而言,LAM RESEARCH 4500 蚀刻器/asher是一种先进、灵活的蚀刻资产,可为用户提供最佳性能、可靠性和控制。此模型非常适合各种蚀刻过程,使用户能够获得最高的精度和可重复性。