二手 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #9231666 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4500是一款全自动蚀刻器/asper,专为高生产力蚀刻和灰化操作而设计。适用于各种工艺技术的各种应用。Rainbow 4500旨在简化实施,同时提高制造效率。4500具有先进的形状定向控制系统,它利用多轴运动能力和粘合的晶片,粘结的尺寸可达6英寸。其灵活的架构允许简化设备集成和节能流程操作。4500有多种来源，提供各种等离子体蚀刻和清洗气体的蚀刻和灰化操作能力。4500还采用了先进的温度控制技术，将温度变化从晶圆到晶圆最小化。它能够在低温应用下进行蚀刻和灰化，并且能够以极高的精度去除晶片中的钨类。4500还具有综合安全功能，如紧急气体关闭、自动过程监控和安全距离，以确保安全运行。4500是用先进的四点室建造的，以确保在大面积上过程结果的均匀性。这使得它能够以均匀的能量分布有效地蚀刻和灰化，使其成为生产和开发过程中的可靠工具。4500提供智能负载端口、内置视觉系统、自动晶圆监控和数据分析功能。它还具有智能晶片定位管理，以消除任何潜在的晶片定位问题。总体而言，LAM RESEARCH Rainbow 4500是一款先进的蚀刻机，具有多种来源和功能，可提供高效、统一和准确的操作。其集成的安全系统和温控室，加上先进的四点腔室、晶圆定位管理和智能负载端口，使其成为各种蚀刻和灰化应用的理想工具。此外，它能够准确地从晶片中除去钨使其成为生产和开发过程中的理想工具。