二手 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #9262478 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4500是一款先进的蚀刻机和asher设备，专为高效制造基材、元件和微电子而设计。该系统结合了滚筒、火炬和基于扩散的蚀刻和灰化技术，提高了工艺控制和精度。Rainbow 4500是一个易于使用的平台，占地面积紧凑，非常适合处理高度专业化的基板。它利用各种流程配方、配方任务以及内置的流程保护和反馈功能,使用户能够高效地管理流程变量。该装置采用可倾斜、高通量的工艺室，在蚀刻和灰化过程中实现高效的均匀性和可重复性。压力密封室的蚀刻/灰化温度范围很广，允许均匀的温度以及气流扩散。该腔室还配备了一个推进器区域，方便基板定位和操作，以及可调节的基板支架，用于精确定向和均匀的蚀刻/灰烬工艺。LAM RESEARCH Rainbow 4500利用高性能的火炬模块,具有广泛的电源设置和驻留时间,使用户能够完全精确地实现蚀刻和灰化要求。火炬能够使用广泛的气体，例如氧气、氮气、氙气和二氧化碳，同时在整个腔室内提供均匀平衡的温度，从而产生优化的过程和更高的产率。Rainbow 4500还具有先进的工艺控制功能，以及压力、温度、流量等多种参数，可以实时调整或预先安排。LAM RESEARCH Rainbow 4500凭借其板载配方记忆，可轻松存储和召回流程，轻松重复和再现流程结果。简而言之，Rainbow 4500是一款非常高效的蚀刻机/asher机，旨在帮助制造纯净的基板、组件和微电子，具有无与伦比的精度、均匀性和可重复性。该工具的高级功能、尖端工艺控制和可变参数使其非常适合各种应用。