二手 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #9276087 待售

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ID: 9276087
Oxide etcher, 6" ESC Turbo pump Does not include chiller and dry pumps.
LAM RESEARCH 4500是一个行业标准的蚀刻和灰化系统,它为各种半导体和MEMS应用提供卓越的蚀刻和灰化性能和准确性。是硅、铝、铜、镍、金等多种材料精密蚀刻和灰化的理想工具。4500是一种电感耦合等离子体(ICP) 蚀刻器/asher,具有各种功能,使其成为一种强大而可靠的蚀刻和灰化工具。LAM RESEARCH 4500提供高精度功能、可重复性能和低拥有成本。它能够在高通量和紧密公差下进行蚀刻和灰化,并具有选择性区域蚀刻和可选的离子束。它具有高度的用户自定义功能,允许用户定制其流程设置以满足应用程序要求。4500配备了先进的流程监控系统,允许用户根据需要调整流程参数。蚀刻器/asher还配备了PID控制系统和数字控制器,可确保最佳性能。数字控制器还允许用户执行自定义蚀刻和ashing配方以实现更大的过程控制。LAM RESEARCH 4500配备了广泛的软件和硬件功能,使其适合各种材料蚀刻和灰化应用。它提供灵活的腔室配置、先进的气体输送系统以及广泛的压力设置,以实现所需的工艺效果。此外,它还包括高级基板处理和加载端口自动化系统,以及后处理诊断。总而言之,4500是一款出色的蚀刻器/asher,可为用户提供业界最高的精度。它具有高度的可自定义性,并提供多种功能和软件控制。其高吞吐量、高精度、先进的工艺控制和监控系统使其适合各种蚀刻和灰化应用。
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