二手 LAM RESEARCH Rainbow 4501 #9196384 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4501 Asher/Etcher是一种高产、先进、高通量的等离子体蚀刻和化学气体加工设备。该平台提供了创新的高四分之一腔设计,允许蚀刻基板和灰化基板同时进行加工,从而显着提高了吞吐量和产量。该系统具有出色的控制精度,精度为+/-5nm,并具有亚微米自对准晶片卡盘,可处理直径达300 mm的晶片。该单元配备了一个大的、直观的、图形化的用户界面，并具有高度自动化、可重复的过程，能够实现可重复的统一和易于操作。彩虹4501具有高效的负离子回旋共振（NICR）源，以极大的工艺灵活性和高选择性同时输送离子、自由基等物种，使机器能够满足各种应用的要求。对于外部低温应用，该工具可以配置一个机器人同时处理多达三个工艺室。该资产提供了更大的工艺灵活性，可以使用广泛的工艺化学方法，包括蚀刻、灰化、开槽和纳米颠簸。它以每小时500晶圆的速度提供高生产率,并且能够在单个进程运行中处理具有不同进程的多个样本。它还具有有效选择和维护多种气体和灰分化学的特点。该模型带有内置的计算机硬件和软件，便于配方和设备管理编程。LAM RESEARCH Rainbow 4501能够提供低角度、高纵横比蚀刻的卓越轮廓控制。它具有卓越的均匀性,均匀性等级为2 sigma +/3 sigma +/4 sigma,温度控制范围为68°C至550 °C。它还提供宽广的温度和压力控制范围，允许温度高达600 °C，压力高达500 Torr的过程。此外，该系统还通过先进的过滤系统提供了优良的颗粒控制和寿命管理，提供了必要的清洁环境和卓越的工艺控制。这种整体的结果是一个健壮的单元设计，以提供最佳的角度和长宽比控制和精确的温度和压力控制。