二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL #293640389 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL是一种蚀刻器/灰烬设备，利用先进技术在包括晶圆和金属在内的多种基材上蚀刻和灰烬。LAM RESEARCH RAINBOW 4520XL提供了一种先进的高纵横比沟槽蚀刻系统，以及超深凹槽蚀刻和高分辨率高难度基板蚀刻。Rainbow 4520 XL具有业界领先的性能,能够以一致的均匀性和细线尺寸刻蚀浅沟和深沟。该装置采用高压涡轮喷气输送机，与高精度等离子体源集成，最大限度地提高生产率，提供可靠的工艺效果。4520 XL上的气体输送选项还允许用于不同工艺应用的各种蚀刻化学。该工具采用闭环自动缝隙扫描资产，采用创新的双气体喷射器设计，允许对精密蚀刻和灰烬工艺进行一致的气流控制。该模型利用先进的过程控制算法，确保了最优气流、气压和蚀刻/灰烬参数的一致满足。燃气喷射器设备还设计用于在使用较薄的层进行蚀刻时提供优化的工艺流程。RAINBOW 4520XL在蚀刻不同基材（包括不锈钢、铝、钛和其他金属）方面提供业界领先的性能。这些基板的高速、高分辨率蚀刻确保即使是最困难的几何形状也能实现。该系统还提供了多种高级功能,包括集成的过程监控、故障检测和诊断以及过程性能优化。集成的流程监控单元具有多种警报功能,可轻松配置这些警报,以提醒操作员需要解决的任何错误或流程问题,故障检测和诊断机器可以提供宝贵的反馈和流程数据,以识别可能需要解决的任何流程问题,从而获得最佳结果。最后,高级工艺优化功能允许动态调整蚀刻速率、晶圆位置和蚀刻/灰烬参数,从而确保达到最高水平的生产率和工艺质量。综上所述，LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL是一款蚀刻器/asher工具，为具有高纵横比沟槽、超深凹槽蚀刻和高速、高分辨率蚀刻的蚀刻晶片和金属提供了前沿性能和工艺灵活性。该资产旨在提供最高级别的流程质量、生产率和流程可重复性,同时还为操作员提供高级流程监控、故障检测和诊断以及流程优化功能,以确保获得最佳结果。