二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL #293819123 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Rainbow 4520 XL是一种用于半导体制造工艺的蚀刻器/asher。它是一种高精度、经济高效的工具，可用于以极高的精度和可重复性蚀刻和沉积材料。ONTRAK Rainbow 4520 XL提供了先进的工艺控制和对传统蚀刻方法的巨大改进。LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL是一款电脑控制的三轴蚀刻器，基板尺寸可达300 x 400 mm（12 "x 16"）。它具有高精度、高速、数字控制（HPDC）设备,可实现精确、可重复的蚀刻和沉积过程。该系统能够以微米级的控制和最小的残留进行极其精确的蚀刻。HPDC与基于Windows的图形用户界面（GUI）耦合,因此用户可以实时设置参数、修改配方和监视蚀刻操作。彩虹4520 XL非常适合硅、玻璃和金属等材料的高精度蚀刻和沉积。该装置具有广泛的蚀刻和灰化气体，包括SF6/Cl2、N2/CH2/H2、O2/N2和O2/H2/Cl2。该装置还包括一个具有可调功率水平和谐波的坚固的等离子体源，从而改进了过程控制。LAM RESEARCH/ONTRAK Rainbow 4520 XL的设计考虑了安全性和效率。为确保工人安全，该机器采用自动排气工具和联锁装置，以防止未经授权操作。该资产还设计用于尽量减少维护，没有活动部件，没有水冷，也没有危险化学品。此外,该模型还包括自我诊断和维护功能以及预测性维护算法,以实现最大的正常运行时间和成本节约。总体而言，ONTRAK Rainbow 4520 XL是高精度蚀刻沉积操作的绝佳选择。它提供了巨大的速度、准确性、过程控制和安全性。这种经济高效的设备可用于各种材料，确保半导体器件的高质量蚀刻和沉积工艺。