二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #152457 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520超高通量asher and etcher是为先进半导体器件开发而设计的高性能设备。Rainbow 4520是研发、材料科学和生命科学应用关键批量处理的理想选择。该系统由多个腔室组成，能够在蚀刻（干）和灰化（湿）模式下运行。LAM RESEARCH Rainbow 4520采用300度旋转炉和总共9个独立控制气体输入的精密工艺控制，实现了多种工艺流程。内置嵌入式计算机允许用户轻松地对过程的每个步骤进行编程、监控和控制。内置多室提供了操作的灵活性,能够在多种配置中运行低、中、高热蚀刻过程和高温灰化。该单元可以在所有操作模式下轻松监控和控制，对腔室内的温度进行实时监控，允许调谐以最大限度地提高工艺吞吐量和产量。此外，Rainbow 4520具有独特的射频等离子体源，配有气体注入碗和内置耀斑，允许在低温下进行均匀的等离子体处理，增强吞吐量、附着力和均匀性。集成射频源产生低功率等离子体，是研制新型光刻胶、增强灰度选择性、提高蚀刻速率均匀性的理想选择。LAM RESEARCH Rainbow 4520还具有界面诊断功能,以确保蚀刻和灰化过程的质量。多项附加功能使Rainbow 4520成为可靠而出色的蚀刻和灰化机。这些功能包括完全自动化的配方控制传输工具和旨在防止错误处理的样本完整性验证资产。总体而言，LAM RESEARCH Rainbow 4520是任何寻求高性能蚀刻和灰化模型的人的绝佳选择。其精巧的特性和稳健的设计使其成为研发、材料科学和生命科学应用的理想选择。该设备具有多种工艺流程、精密工艺控制、集成射频源和界面诊断功能,可提供卓越的性能和可靠的结果。