二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9098084 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款最先进的蚀刻器和asher，旨在以最高效率执行精确的微机械加工任务。这款多合一设备提供集成的单晶片和批量处理能力，具有满足广泛工业需求的灵活性。Rainbow 4520是同类产品中最先进的机型之一,它在一个方便的解决方桉中提供卓越的工作效率、性能和可靠性。在技术规格上，LAM RESEARCH Rainbow 4520具有10英寸（254毫米）的载荷锁，单晶片处理的载荷/卸载时间仅为8.5秒，批次载荷为16秒。这是通过高速晶圆传输系统实现的，由强大的9安培、30 W无刷直流电动机驱动。此外,Rainbow 4520的最佳蚀刻/吸气速率为每分钟10个晶圆,优于竞争对手。此外，LAM RESEARCH Rainbow 4520还有一个自动室内清洁装置，带有先进的浇头，可同时为两种基板提供有效的清洁。该机还具有一系列先进的过程控制功能，确保了最优的过程控制和可重复性。这包括对多个数据点进行精确的实时测量和反馈，根据配方中设置的参数进行调整。此外,Rainbow 4520还具有各种蚀刻/抽吸功能,并具有可选的Etch Plus和/或Aspirate Plus功能。这确保了从基本蚀刻到难以实现的长宽比的多功能性,以解决具有挑战性的过程要求。该工具还配备了全自动故障检测操作、关机恢复和相关诊断,以改善资产正常运行时间。最后,LAM RESEARCH Rainbow 4520采用高增压射频电源,通过基于过程压力和温度自动控制射频功率,提供更高的蚀刻速率。这种驱动能力得到了一个闭环甲烷流量模型的支持，该模型旨在保持精确的气体流量，确保过程结果一致。一种先进的自动清洗功能可以监控蚀刻室内的碳含量，以限制污染并延长腔室的保质期。总之,Rainbow 4520是一款高级蚀刻器/asher,在一个集成解决方桉中提供卓越的性能、管理和自动化功能。它具有较高的生产率和改进的过程控制，是快速实现精确微加工效果的理想工具。