二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9175702 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520是业界领先的蚀刻器/asher,专为高级蚀刻和灰化应用而设计。Rainbow 4520具有双光束激光技术,可实现高通量和高生产率,具有独特的腔室设计,可实现最佳等离子体密度,以及广泛的工艺和环境控制选项。LAM RESEARCH Rainbow 4520配备了高功率射频和直流电源，允许用户通过对两个电源的独立控制来定制自己的流程。蚀刻器/灰化器提供了多种工艺配方,允许各种蚀刻、灰化、沉积和清洁工艺。所有流程都经过优化,以提高吞吐量和产量。Rainbow 4520独特的腔室设计提供了双束激光器能量的高效利用和均匀的等离子体密度。这样就可以实现功能精细的流程,且泄漏最少,从而减少了手动干预的需要。该室还具有用于反应性物质的多种来源和用于增强工艺控制的PECVD真空。LAM RESEARCH Rainbow 4520还提供了一整套专有软件工具，从流程自动化到流程监控和数据记录。此外，设备支持计量和传感技术，如剖面图、光谱、椭圆偏振和非接触式光学，以确保精确的过程控制。综合系统在所有蚀刻和灰化过程中提供全面的过程控制。彩虹4520配备全面、用户友好的界面，确保安全、用户友好的操作。该单元经过验证和校准，以实现精确的可重复过程，并具有根据用户反馈进行进一步校准或改进的能力。该计算机还提供远程访问以实现远程数据存储和支持,确保客户在需要时提供支持。LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款大型生产的理想蚀刻器/asher，旨在实现比传统光刻和蚀刻工具更快的循环时间和更高的产量。Rainbow 4520具有高性能、强大的功能和易于使用的界面,是高级蚀刻和灰化应用程序的行业领导者。