二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9176778 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款先进的蚀刻/asher设备,旨在实现高级电子产品的大批量生产。4520是针对介电蚀刻和灰化应用优化的高通量、高精度等离子处理解决方桉。它能够处理每个循环多达5个晶圆，并且设计用于操作广泛的气体，包括氟彷、三氟化氮、硫酸和XeF2。4520也与正负晶片偏置电压条件完全兼容。Etcher/Asher系统用于半导体制造、LED生产和其他先进的电子产品线。它可以实现高蚀刻速率和严格的过程控制，具有极好的重复性，使其成为大批量生产的理想解决方桉。该单元能够在多个级别和序列上执行蚀刻,并在其高级软件算法中存储参数设置。Rainbow 4520有一个大的、8英寸的液晶触摸屏显示屏，允许操作员轻松调整参数、监控蚀刻速率和查看状态。它能够运行自动等离子体流，以最大限度地提高流程精度和吞吐量。它还配备了创新的气体安全壳设置，以确保安全高效的运行。该机器具有许多高级功能,例如高度稳定的设定点控制和实时反馈控制,以确保从一批到下一批的过程可重复性。它还配备了先进的腔室控制工具，可以检测气体流动中是否存在颗粒和污染物，并提供自动调节，以确保可重复的过程。LAM RESEARCH Rainbow 4520还可以与其他工艺设备集成，如烘干机和负载锁，创建一个完全集成的生产资产。它是一个坚固、高度精确的蚀刻和灰化模型,旨在以最小的维护要求提供工业级别的性能。