二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9248825 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520是蚀刻和灰化工艺的高级平台。此设备旨在以最高的吞吐量速率提供最高质量的结果。它包括最新的蚀刻技术，如离子铣削、热辅助蚀刻和反应性离子蚀刻，以及灰化、沉积和溅射。Rainbow 4520 蚀刻器/asher可以配置一系列选项,以提供灵活性、精确度和低拥有成本。LAM RESEARCH Rainbow 4520 蚀刻器/asher结合了嵌入式控制器和数字信号处理器（DSP），用于高速自动控制。该系统提供了广泛的等离子体过程自动化，如配方控制和脉冲级控制。用户可以实时监控蚀刻过程，允许实时反馈发送到过程中以确保准确性。Rainbow 4520还包括一系列先进的安全功能，包括自动关闭保护、防止温度过高和工艺气体浸出。LAM RESEARCH Rainbow 4520 蚀刻器/asher提供一系列蚀刻和灰化工艺。该单元配备了包括LAM RESEARCH专利双极-HF机在内的一系列蚀刻沉积系统。该工具还包括一个集成的负载锁定,允许在蚀刻和灰化过程之间快速高效地过渡。该资产还支持各种基板，包括各种金属和合金、铝、硅和碳以及一些半导体材料。Rainbow 4520 蚀刻器/asher的设计考虑到了较低的总拥有成本。此模型提供了高级功能,例如无与伦比的过程控制、一致的过程结果和较低的维护成本。此外,LAM RESEARCH Rainbow 4520 蚀刻器/asher的设计目的是使设备的使用寿命最大化。它结合了一系列高级维护和诊断功能以及较短的流程周期,以帮助降低维护成本。Rainbow 4520是一款高级蚀刻器/asher,具有一系列功能,可为用户提供质量最高、总拥有成本较低的结果。该系统配备了业界领先的蚀刻沉积系统、用于高速自动控制的嵌入式控制器和DSP以及一系列安全功能，以确保用户安全。此外,LAM RESEARCH Rainbow 4520 蚀刻器/asher还提供高级诊断和维护功能,并具有较短的工艺周期时间,可延长设备寿命。