二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9277852 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asher是一款世界级的底物加工蚀刻器/Asher,具有卓越的硬件配置和先进的工艺,可提高工艺控制和均匀性。Rainbow 4520 Asher的特点包括快速热退火（RTA）、快速冷却和先进的可编程热浸泡。这允许从25°C到1400°C的高温处理范围,这是高级应用的理想选择。LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asher配备了先进的氧气表/控制器，可监控和控制蚀刻和退火过程中的氧气总量。这样可以确保优化的过程和准确的结果。Rainbow 4520 Asher的蚀刻速度是目前市场上其他蚀刻商的十倍以上。这样可以提高工作效率和周转时间。有了先进的过程控制和监控系统，先进的诊断能力，集成的故障保护、蚀刻速率和材料一致性也得到了很好的保证。该设备具有标准的自动晶片跟踪功能，以确保所有基板的过程一致。LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asher提供精湛的均匀性，通过重型光机构造和高精度电磁波导执行器的使用实现。多基板尺寸兼容性、模块化工艺室设计、介电射频工艺等附加特性，提供了额外的均匀性和灵活性。Rainbow 4520 Asher配备了低频和高频电源，最多可提供8个频率。这样可以通过多种工艺配方或多步就地退火提高生产效率,从而提高性能。该设备还配备了一个独一无二的串联InGaAs相机，能够为基板提供自动尺寸选择和识别，这大大减少了人工修饰时间。LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asher在精密基材加工方面提供了最大的应用。Rainbow 4520 Asher具有卓越的硬件、先进的过程控制和监控、增强的过程一致性和准确的结果,是众多行业应用的理想选择。