二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9280619 待售
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ID: 9280619
晶圆大小: 6"
Oxide etcher, 6"
Gases:
Gas 1 / AR
Gas 2 / CF4 / SF6
Gas 3 / CHF3
Gas 4 / HE
Gas 5 / O2
UPC HE
Standard gas box
Calibration
Gas weldment polish
Bottom gas panel exhaust
Wafer transfer:
Open cassette exit, 6"
Entrance load lock wafer holder
Hinge 38A receiver / Sender indexer
Belt driven load station
Standard load station shuttle spatula
AC power:
Fuses for AC/DC power box
AC Input power supply: 208 V, 3 Q, 5 W, 30 A
RF Power supply: 2.2 kW, 400 kHz
Chamber configuration:
Envision system with CRT
Bulkhead system mount
Chamber with variable gap electrode
Automatic match system
Electrode temperature unit interface
Endpoint detector: Monochromatic
ESC Chuck and module
Viton O-ring all change
Standard clean gas box
Pressure control system:
APC Controller
Throttle valve
Isolation valve open / Close type
Upper and lower electrode temperature control:
Chiller type: 2080 TCU
Dual system
Vacuum system
Main chamber: EDWARDS QDP80+QMB250
Pump / IH600
Load lock chamber: EDWARDS QDP80
Dimension and facility
Physical dimensions
Power requirements
Exhaust requirements
Cooling water
Nitrogen
Compressed air: CDA / N2.
LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款适用于半导体器件制造的先进蚀刻器/asher。它能够提供卓越的性能、质量和生产力。Rainbow 4520采用优化的腔室设计,可实现快速吞吐量,是一款可靠且高效的蚀刻设备。LAM RESEARCH Rainbow 4520能够以最小的颗粒污染提供优异的工艺效果。它具有高效的涡轮泵，以及强大的化学和蚀刻程序，以实现高吞吐量和卓越的质量效果。此外，该蚀刻器还具有快速加载晶片装卸系统，以进一步优化生产工艺。Rainbow 4520还采用了创新的0-1-1超高压（UHP）气体装置,能够生产出具有低应力剖面的精密阵列设备。该机具有最先进的沉积壁、先进的气体面板和工艺室以及温度控制器，可最大限度地减少颗粒和缺陷污染。Asher技术可实现出色的层均匀性、快速的周期时间和高生产率。LAM RESEARCH Rainbow 4520提供一流的asher性能,可实现最大程度的设备产量和出色的轮廓均匀性以及更高的材料加工量。该工具配置了一个适合质量检查和过程调整的可靠的过程控制。彩虹4520还支持先进的波纹管和挡板组件，允许在超低压力下更高效的基于HF的蚀刻。此外,该资产还可以配置独特的传感器诊断程序,从而实现快速的流程反馈、在线维护以及不断提高蚀刻性能和产量。最后,LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款经济实惠的精密蚀刻模型,以经济实惠的方式提供卓越的生产效率、质量和吞吐量。Rainbow 4520具有集成控制器和多种选项,是半导体器件制造行业广泛应用的理想解决方桉。
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